应用制程

快速退火

产品尺寸

4~8寸 wafer

加热单元

IR红外灯管+石英板

最高工作温度

1150℃

冷却后温度

45℃

温度均匀性

±5℃

升降温速率

100℃/s（裸片）

进出料方式

单张进出全自动Inline模式

开闭门方式

自动

传动方式

Robot

无尘等级

100 Class

软体功能

温度、时间、ID上报CIM/MES/ERP