无盒式自动清洗装置
无盒式自动清洗装置是只需固定和清洗晶圆的装置。
最大支持300mm。
设备介绍
- 晶圆尺寸
- ～φ300m/m
- HEPA或ULPA
- 内置过滤器
- 机器人
- 伺服电机
- 化学槽
- 摇动、超声波清洗、兆声波
- 冲洗槽
- 鼓泡、QDR、电阻率计
- 干燥
- S/D. IPA V/D. 上拉
300mm晶圆自动清洗装置
300mm晶圆自动清洗装置是盒式槽式清洗装置。
最大支持300mm。
设备介绍
- 晶圆尺寸
- ～φ300m/m
- HEPA或ULPA
- 内置过滤器
- 机器人
- 伺服电机
- 化学槽
- 摇动、超声波清洗、兆声波
- 冲洗槽
- 鼓泡、QDR、电阻率计
- 干燥
- S/D
工程案例
- LD
- OF
- APM
- APM
- QDR
- HPM
- QDR
- 03
OF - S/D
- ULD
（6/8英寸 · 12英寸）单片式自动清洗装置
设备介绍
- 处理张数
- 每一片（单片）
- 传送方式
- 从标量机器人和正交机器人中选择
- 清洗方式
- 根据使用清洗方法的过程确定清洗槽的结构
- 干燥方法
- 气刀+旋转干燥
- 机器人
- 根据机器人过程确定数量
具备上下、前后、行走、卡盘驱动
- 供应/储存
- 12英寸晶圆的情况下，装载端口
8英寸晶圆支持SMIF
- 处理时间
- 一批（25片或50片）5分（300秒）
- 装置整体框架、架台钢焊接结构耐腐蚀涂装后卷边式构造
在顶部安装FFU（清洁单元）
- 支持LD & ULD PFE、OPEN、FOSB、FOUP盒式
8英寸晶圆间距为6.35mm
12英寸的晶圆间距为10mm
根据用途和布局确定规格
（6/8英寸 · 12英寸）批量式自动清洗装置
设备介绍
- 处理张数
- 25片、50片两种
- 传送方式
- 从载体类型和载波类型中选择
- 清洗方式
- 根据使用清洗方法的过程确定清洗槽的结构
- 干燥方法
- 气刀+旋转干燥
- 机器人
- 根据机器人过程确定数量
具备上下、行走、卡盘驱动
- 间距变换
- 清洗12英寸的晶片的情况下，为了减小清洗槽的容积，将晶片间距变换为10毫米 ~ 7毫米或5毫米
- 处理时间
- 一批（25片或50片）5分（300秒）
- 装置整体框架、架台钢焊接结构耐腐蚀涂装后卷边式构造
在顶部安装FFU（清洁单元）
- 支持LD & ULD PFE、OPEN、FOSB、FOUP盒式磁带
8英寸晶圆间距为6.35mm
12英寸的晶圆间距为10mm
根据用途和布局确定规格